特許

J-GLOBAL ID：200903071806053392

絶対位置検出装置とそれを搭載した顕微鏡

発明者： 大崎 幹夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-009186
公開番号（公開出願番号）：特開2003-214835
出願日： 2002年01月17日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】 高精度な絶対位置検出装置とこれを搭載した顕微鏡を従来より安価に提供すること。【解決手段】 往復移動する移動機構部と、前記移動機構部の位置を検出する位置検出手段22、28、30、32、33を有し、前記位置検出手段22、28、30、32,33の信号から前記移動機構部の絶対位置を検出し、前記移動機構部を制御する制御手段を有する絶対位置検出装置において、前記複数の位置検出手段の第1の位置検出手段22は、前記移動機構部の移動位置に対応する第1の信号を出力し、前記複数の位置検出手段の第2の位置検出手段28は、前記移動機構部が移動範囲内で予め定められた領域を移動するとき単位移動量に対応する第2の信号を出力し、前記制御手段40が前記第1の信号と前記第2の信号とから前記移動機構部の絶対位置を検出すること。

請求項（抜粋）：

往復移動する移動機構部と、前記移動機構部の位置を検出する位置検出手段を有し、前記位置検出手段の信号から前記移動機構部の絶対位置を検出し、前記移動機構部を制御する制御手段を有する絶対位置検出装置において、前記位置検出手段の第1の位置検出手段は、前記移動機構部の移動位置に対応する第1の信号を出力し、前記位置検出手段の第2の位置検出手段は、前記移動機構部が移動範囲内で予め定められた領域を移動するときの単位移動量に対応する第2の信号を出力し、前記制御手段が前記第1の信号と前記第2の信号とから前記移動機構部の絶対位置を検出することを特徴とする絶対位置検出装置。

IPC (8件)：

G01B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 ,  G01D 5/165 ,  G02B 7/04 ,  G02B 7/08 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/24

FI (8件)：

G01B 21/00 C ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/00 C ,  G02B 7/08 C ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/24 ,  G01D 5/16 A ,  G02B 7/04 C

Fターム (46件)：

2F064AA01 ,  2F064BB01 ,  2F064BB03 ,  2F064CC04 ,  2F064MM26 ,  2F064MM34 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB18 ,  2F065DD02 ,  2F065FF02 ,  2F065FF16 ,  2F065FF23 ,  2F065FF67 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ15 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F069AA02 ,  2F069DD20 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH09 ,  2F069HH12 ,  2F069HH14 ,  2F069NN08 ,  2F077AA27 ,  2F077CC02 ,  2F077EE04 ,  2F077RR03 ,  2H044BB01 ,  2H044DA01 ,  2H044DC01 ,  2H044DE06 ,  2H052AD05 ,  2H052AD09 ,  2H052AD16