特許
J-GLOBAL ID：200903071806064807
電位検査回路、デバイス検査装置および電位検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001988
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194412
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 パス・フェイル判定およびAD変換の結果の間に矛盾が生ぜず、パス・フェイル判定を高速に行う電位検査装置を提供する。【解決手段】 制御回路10はレジスタ22から読み出した上限値を、ラッチ16を介してDAコンバータ18に与えることによって、比較器14の一方の入力端子へと入力する。検査対象である電位Vは、ホールド回路12を介して比較器14の他方の入力端子に入力される。比較器14は上限値を基準として電位Vの値の大小を判断し、制御回路10へと出力する。同様の動作は、下限値に対しても行われる。上限値および下限値との比較によって、電位Vの値は許容範囲内であるか否かについてのパス・フェイル判定をなされる。さらに制御回路10は、レジスタ20からデータD1〜Dnを順に読み出して比較の基準を徐々に変化させ、電位VのAD変換を行う。パス・フェイル判定およびAD変換は共通の比較器14においてなされ、矛盾は生じない。
請求項（抜粋）：
検査対象たる入力電位を基準値と比較して比較結果を出力する比較器と、入力電位の許容限度を表す値である許容限度値を前記基準値として与えることによって得られる前記比較結果に応じて前記入力電位の可否の判断を行う判断手段、および前記基準値を変化させつつ前記比較器に与えることによって得られる前記比較結果に応じて前記入力電位の値を求める値決定手段を有する制御回路とを備えることを特徴とする電位検査回路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 G
, G01R 19/165 C
2G003AA00
, 2G003AB01
, 2G003AE01
, 2G003AE06
, 2G003AF06
, 2G003AH02
, 2G035AA01
, 2G035AB01
, 2G035AC01
, 2G035AD23
, 2G035AD65
