特許

J-GLOBAL ID：200903071809440478

ガラスのエッチング処理方法

発明者： 西沢 学 ,  櫛谷 英樹 ,  中尾 泰昌
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146899
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340448
出願日： 1993年05月26日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【構成】エッチングに際し、フッ酸系エッチング液、無機酸、アルカリおよび有機酸からなる群から選ばれる少なくとも1種のエッチング液により前エッチングすることを特徴とするガラスのエッチング処理方法。【効果】デバイス作製のエッチング工程においてガラスに生じるヘイズを減らすエッチング処理方法として好適である。

請求項（抜粋）：

ガラスをエッチングする際に、フッ酸系エッチング液、無機酸、アルカリおよび有機酸からなる群から選ばれる少なくとも1種のエッチング液により前エッチングすることを特徴とするガラスのエッチング処理方法。