特許

J-GLOBAL ID：200903071809753352

レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法

発明者： 木原 康夫 ,  橋本 浩一 ,  関戸 達也 ,  大川 雄士 ,  松村 健
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125639
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311463
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】 物品上の不要となつたレジスト膜画像を、その種類や性状に関係なく、接着シ-ト類を用いて簡便にかつ確実に除去し、また除去後に物品上にパ-テイクルが残らなくなるようにする。【解決手段】 レジスト除去用接着シ-ト類として、フイルム基材上に接着剤層を設け、この接着剤層中に0.01〜3重量%の界面活性剤を含ませてなるものを使用し、この接着シ-ト類をレジスト膜画像が存在する物品上に貼り付け、この接着シ-ト類が硬化型のものであればこれを硬化させたのち、この接着シ-ト類とレジスト材とを一体に剥離して、物品上のレジスト材を除去する。

請求項（抜粋）：

フイルム基材上に接着剤層が設けられてなり、かつ上記の接着剤層中に0.01〜3重量%の界面活性剤が含まれていることを特徴とするレジスト除去用接着シ-ト類。

IPC (4件)：

G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JKK ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JKK ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/30 572 Z