特許
J-GLOBAL ID:200903071811233048
レーザーアブレーション装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-002816
公開番号(公開出願番号):特開平11-201945
出願日: 1998年01月09日
公開日(公表日): 1999年07月30日
要約:
【要約】【課題】 プラズマ点灯時に試料セルの蓋を開けてもキャリアガスの流量及び圧力が変化せず、かつ、試料セル内に空気が流入しないレーザーアブレーション装置を提供する。【解決手段】キャリアガスを供給するキャリアガス口とパージガスを供給するパージガス口とを備えると共に、高周波誘導結合型プラズマを用いた分析装置に試料を供給するレーザーアブレーション装置において、キャリアガス口から試料セル内を経由してトーチ側へキャリアガスが流れるようにしたモードと、キャリアガス口から試料セル内を経由せずにトーチ側へキャリアガスが流れると共に、パージガス口から試料セル内にパージガスが別途供給されるようにしたモードとが、お互いに切り替わるようにした。
請求項(抜粋):
キャリアガスを供給するキャリアガス口とパージガスを供給するパージガス口とを備えると共に、高周波誘導結合型プラズマを用いた分析装置に試料を供給するレーザーアブレーション装置において、キャリアガス口から試料セル内を経由してトーチ側へキャリアガスが流れるようにしたモードと、キャリアガス口から試料セル内を経由せずにトーチ側へキャリアガスが流れると共に、パージガス口から試料セル内にパージガスが別途供給されるようにしたモードとが、お互いに切り替わるようにしたことを特徴とするレーザーアブレーション装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 27/62 F
, H01J 49/04
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