特許

J-GLOBAL ID：200903071817755550

プローブ装置及び微小領域に対する電気的接続方法

発明者： 中桐 伸行 ,  杉村 博之 ,  山本 琢磨
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213187
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038916
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 被接続体の損傷を防止する。【解決手段】 プローブ装置は、カンチレバー2を備え、被接続体1の微小領域に対して接触による電気的接続を行う。カンチレバー2は、先端側領域に探針2aを有するレバー部2bと、該レバー部2bを支持する支持体2cとを有する。探針2aの先端が導電性を有する。カンチレバー2は、探針2aの先端から支持体2c側に至る導電路を有する。探針2aの先端が被接続体1に接触し、被接続体1に対する電気的接触が行われると、レバー部2bが撓む。

請求項（抜粋）：

被接続体の微小領域に対して接触による電気的接続を行うプローブ装置において、先端側領域に探針を有するレバー部と、該レバー部を支持する支持体とを有するカンチレバーを備え、前記探針の先端が導電性を有し、前記カンチレバーは、前記探針の先端から前記支持体側に至る導電路を更に有することを特徴とするプローブ装置。

IPC (5件)：

G01R 1/06 ,  G01N 37/00 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66 ,  H01R 11/18

FI (5件)：

G01R 1/06 E ,  G01N 37/00 G ,  H01L 21/66 B ,  H01R 11/18 ,  G01R 31/28 K