特許
J-GLOBAL ID：200903071820421280

画像装置用絶縁膜の製造方法

発明者：
正木 孝樹

正木 孝樹 について

, 
田中 明彦

田中 明彦 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-230559
公開番号（公開出願番号）：特開2000-063151
出願日： 1998年08月17日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：
【要約】【課題】ボイド、ピンホールなどの欠陥がない優れた電気絶縁性や保護膜効果を有する画像装置用絶縁膜を、簡便に安価に製造する。【解決手段】電極が形成されたガラス基板上に、無機粉末と感光性有機成分からなる感光性ペーストを塗布して、フォトリソグラフィ法によりパターンを形成した後、焼成する画像装置用絶縁膜の製造方法であって、該無機粉末が平均粒子径0.3〜1.5μm、最大粒子径10μm以下の粉末で、かつタップ密度が0.6g/cm3以上であることを特徴とする画像装置用絶縁膜の製造方法とする。
請求項（抜粋）：
電極が形成されたガラス基板上に、無機粉末と感光性有機成分からなる感光性ペーストを塗布して、フォトリソグラフィ法によりパターンを形成した後、焼成する画像装置用絶縁膜の製造方法において、該無機粉末が平均粒子径0.3〜1.5μm、最大粒子径10μm以下の粉末で、かつタップ密度が0.6g/cm3以上であることを特徴とする画像装置用絶縁膜の製造方法。
IPC (6件)：
C03C 17/04 ,  C03C 8/16 ,  G03F 7/004 501 ,  G09F 9/30 348 ,  H01J 1/316 ,  H01J 9/02
FI (6件)：
C03C 17/04 A ,  C03C 8/16 ,  G03F 7/004 501 ,  G09F 9/30 348 A ,  H01J 1/30 E ,  H01J 9/02 E
Fターム (78件)：
2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC12 ,  2H025BC31 ,  2H025BC43 ,  2H025BC52 ,  2H025BC53 ,  2H025CA00 ,  2H025CC02 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025DA19 ,  2H025DA20 ,  2H025FA28 ,  4G059AA01 ,  4G059AB05 ,  4G059AC07 ,  4G059AC20 ,  4G059CA03 ,  4G059CA08 ,  4G059CB04 ,  4G062AA03 ,  4G062BB07 ,  4G062CC05 ,  4G062DA03 ,  4G062DA04 ,  4G062DB01 ,  4G062DC04 ,  4G062DD01 ,  4G062DE03 ,  4G062DE04 ,  4G062DE05 ,  4G062DF01 ,  4G062EA10 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FC03 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA04 ,  4G062GA05 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062NN40 ,  5C094AA03 ,  5C094AA14 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA46 ,  5C094BA21 ,  5C094BA34 ,  5C094CA18 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA10 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB15 ,  5C094GA10 ,  5C094GB10 ,  5C094JA01 ,  5C094JA08 ,  5C094JA20
引用特許：
審査官引用 (1件)

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