クリーンルームブースのリーク検査システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-114249
公開番号（公開出願番号）：特開2005-300263
出願日： 2004年04月08日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】個々のHEPAフィルタとその周囲のリークを検出できると共にそれぞれHEPAフィルタのリークの原因等を判断できるクリーンルームブースのリーク検査システムをを提供する。【解決手段】 HEPAフィルタ11の直下に、空気を吸引するサンプリングプローブ22をX-Y軸方向にスキャンニングさせ、サンプリングプローブで、HEPAフィルタ11の上流から流したエアロゾルのリークを検出するためのクリーンルームブースのリーク検査システムにおいて、サンプリングプローブ22の近傍にHEPAフィルタ11の枠32、70とフィルタメディア30を識別する枠検出センサ64,65を設け、その枠検出センサ64,65で、フィルタメディア30と枠32、70を検出しながらスキャンニングさせて、HEPAフィルタ11毎に、リーク測定を行うと共にそのデータを保存するものである。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

HEPAフィルタの直下に、空気を吸引するサンプリングプローブをX-Y軸方向にスキャンニングさせ、サンプリングプローブで、HEPAフィルタ上流から流したエアロゾルのリークを検出するためのクリーンルームブースのリーク検査システムにおいて、サンプリングプローブの近傍にHEPAフィルタの枠とフィルタメディアを識別する枠検出センサを設け、その枠検出センサで、フィルタメディアと枠を検出しながらスキャンニングさせて、HEPAフィルタ毎に、リーク測定を行うと共にそのデータを保存することを特徴とするクリーンルームブースのリーク検査システム。

IPC (3件)：

G01N15/08 , G01M3/04 , G01M3/20

FI (3件)：

G01N15/08 A , G01M3/04 M , G01M3/20 M

Fターム (7件)：

2G067AA19 , 2G067BB12 , 2G067BB26 , 2G067BB37 , 2G067CC18 , 2G067DD17 , 2G067EE08

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公平3-50210号公報
特許第3280280号公報

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