特許
J-GLOBAL ID：200903071835217205
表面検査方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178943
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043077
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】本発明は、表面の傷やざらつきなどの表面特徴を客観的・定量的に測定する。【構成】被測定物4の表面上に微小な測定子3を接触させて走査させ、このときに測定子3に作用する力を力検出部2によりXYZの各成分力として検出し、これら成分力の波形特徴量から判定部10のニューラルネットワーク部を用いて被測定物4の傷等を評価する。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面に微小な測定子を接触させて走査させ、このときに前記測定子に作用する力を少なくとも2方向成分として検出し、この検出された各方向成分に基づいて前記被測定物の表面を検出することを特徴とする表面検査方法。
IPC (3件)：
G01B 21/30 102
, G01B 5/28 102
, G01N 19/08
