特許

J-GLOBAL ID：200903071840313077

シミュレーション装置、シミュレーション方法、及びシミュレーションプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 石原 貴光
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-092162
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284199
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】 電荷を保有した散乱体による移動度を迅速且つ正確に求めることができるシミュレーション装置、方法およびプログラムを記録した記録媒体を提供することを目的とする。【解決手段】 電荷を保有する散乱体による散乱の移動度を計算するシミュレーション手法において、二次元系あるいは擬二次元系における電子ガスあるいは正孔ガスによる遮蔽効果を考慮した移動度と遮蔽効果を考慮しない移動度とを、0≦α≦1なる係数αと1-αで重みをつけて足しあわせ、係数αの値を調節することによって、電荷を保有した散乱体による散乱の移動度を所定の値と合うように調節することにより、高精度な移動度モデルを抽出することができる。

請求項（抜粋）：

電荷を保有する散乱体による散乱の移動度を計算するシミュレーション手法であって、二次元系あるいは擬二次元系における電子ガスあるいは正孔ガスによる遮蔽効果を考慮した移動度と遮蔽効果を考慮しない移動度とを、0≦α≦1なる係数αと1-αで重みをつけて足しあわせ、係数αの値を調節することによって、電荷を保有する散乱体による散乱の移動度を所定の値と合うように調節する手順を備えていることを特徴とするシミュレーション方法。

IPC (4件)：

H01L 21/00 ,  G06F 19/00 110 ,  H01L 29/00 ,  G06F 17/50 666

FI (4件)：

H01L 21/00 ,  G06F 19/00 110 ,  H01L 29/00 ,  G06F 17/50 666 S

Fターム (5件)：

5B046AA08 ,  5B046JA04 ,  5B049BB07 ,  5B049EE03 ,  5B049EE41