特許

J-GLOBAL ID：200903071841135482

電位分布測定方法および走査型顕微鏡

発明者： 谷本 正文 ,  オリビエ バテル
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-048204
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248082
出願日： 1995年03月08日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 被測定試料の表面電位を探針-試料間で決まる容量に依存せずに高精度に測定する。【構成】 探針1aと試料3との間に交流信号発生器9から交流信号を印加し、このとき、探針1aが受ける力をレーザーダイオード4からの光を用い、探針1aの背面で反射した光をフォトダイオード5で検出し、検出された信号の交流信号のf1 成分と2f1 成分とをフーリエ変換器6で測定し、2f1 成分を除算器101を用いて交流信号振幅値で除した値で、f1 成分を除算器102を用いて除し、この信号を零にするように電圧制御回路11で直流信号発生器12を制御することにより、被測定試料の表面電位を測定することで探針-試料間で決まる容量に依存せずに高精度に被測定試料の表面電位を測定することができる。

請求項（抜粋）：

顕微鏡の探針と被測定試料との間に所定周波数の交流信号と所定電位の直流信号とを印加し、前記交流信号の所定周波数の静電気力の振動信号強度と所定周波数の2倍の周波数の静電気力の振動信号強度とを測定し、前記2倍の周波数の静電気力の振動信号強度を前記交流信号の強度で除算し、この除算結果の信号で前記所定周波数の静電気力の振動信号強度を除算し、この除算結果の信号を零にするように前記直流信号を制御することにより、前記被測定試料の表面電位を測定することを特徴とした電位分布測定方法。

IPC (4件)：

G01R 29/14 ,  G01N 37/00 ,  G01R 29/12 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

G01R 29/14 ,  G01N 37/00 H ,  G01R 29/12 F ,  H01J 37/28 Z