特許
J-GLOBAL ID:200903071841231406
ポリイミド前駆体溶液及びその製造方法、それから得られるポリイミド塗膜及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-224021
公開番号(公開出願番号):特開2000-053862
出願日: 1998年08月07日
公開日(公表日): 2000年02月22日
要約:
【要約】【課題】 銅基材上にポリイミド塗膜を形成したときポリイミド塗膜中の銅の含有量を少なくすることができて、良好な物性を有するポリイミド塗膜を得ることができるポリイミド前駆体溶液及びその製造方法、ポリイミド前駆体溶液から得られる良好な物性を有するポリイミド塗膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】 特定ジアミンと特定のテトラカルボン酸とからなる塩と特定量の塩基性物質とが溶媒中に溶質として溶解しているポリイミド前駆体溶液。溶媒中で特定のジアミン1モルに対して0.4〜0.6モルの特定のテトラカルボン酸二無水物を反応させジアミンを得た後、このジアミン1モルに対して特定のテトラカルボン酸0.95〜1.05モルを加える。前記ポリイミド前駆体溶液を基材上に塗工し、加熱イミド化してポリイミド塗膜をえる。
請求項(抜粋):
下記一般式(1)に示すジアミンと下記一般式(2)に示すテトラカルボン酸及び/又はそのエステルとからなる塩と、この塩に対し0.1〜70重量%の塩基性物質とが溶媒中に溶解していることを特徴とするポリイミド前駆体溶液。【化1】〔一般式(1)中、Rは少なくとも1つの炭素6員環を含む4価の芳香族残基を示し、4つのカルボニル基はこの残基中異なった炭素原子に直接連結しており、4つのうちの2つずつは対をなし、炭素6員環内の隣接する炭素原子に結合しており、R’は少なくとも1つの炭素6員環を持つ2価の芳香族残基を示す。また、一般式(2)中、R''は少なくとも1つの炭素6員環を含む4価の芳香族残基を示し、4つのカルボニル基はこの残基中異なった炭素原子に直接連結しており、4つのうちの2つずつは対をなし、炭素6員環内の隣接する炭素原子に結合しており、R''' は水素もしくは、炭素数1から5までのアルキル基である。〕
IPC (5件):
C08L 79/08
, C08K 5/17
, C09D179/08
, H01L 23/29
, H01L 23/31
FI (4件):
C08L 79/08 A
, C08K 5/17
, C09D179/08 B
, H01L 23/30 D
Fターム (13件):
4J002CM041
, 4J002EN016
, 4J002EN096
, 4J002FD206
, 4J002GH00
, 4J038DJ031
, 4J038JB03
, 4J038MA07
, 4J038MA09
, 4J038PA19
, 4M109AA01
, 4M109CA10
, 4M109EA08
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