特許

J-GLOBAL ID：200903071846748377

複数のルツボを利用した有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源

発明者： 盧一鎬
出願人/特許権者： 株式会社 細美事
代理人 (1件)： 稲葉 滋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-111466
公開番号（公開出願番号）：特開2007-314873
出願日： 2007年04月20日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：

【課題】 複数のルツボを利用した有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源を提供する。【解決手段】 上面は開放されており、長い筒状に形成されるハウジングと、上面は開放されており、内部に蒸着用物質を入れるものであり、ハウジングに挿入される複数のルツボと、前記ルツボを加熱する加熱装置と、を備え、ルツボで蒸発された蒸着用物質がルツボの開口から広がる高さの各々異なる有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

長い筒状ないし箱状に形成されるハウジングと、 上面は開放されており、内部に蒸着用物質を入れるものであり、前記ハウジングに挿入される複数のルツボと、 前記ルツボを加熱する加熱装置と、を備える有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源において、 各ルツボの開口の高さが各々異なり、前記ルツボで蒸発された前記蒸着用物質が前記異なる高さのルツボの開口から広がるように構成されている、有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10

FI (4件)：

C23C14/24 C ,  C23C14/24 A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10

Fターム (15件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC42 ,  3K107GG04 ,  3K107GG34 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029DB18 ,  4K029EA02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 連続真空蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-003800   出願人：石川島播磨重工業株式会社
• 有機発光素子用基板に有機層を蒸着させる装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-307663   出願人：富士電機ホールディングス株式会社