特許
J-GLOBAL ID：200903071861754634
荷電粒子ビーム装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252495
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076660
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 鏡筒の振動を抑える。【解決手段】 排気系3を取り付けた状態における支柱10A,10B,10Cの固有振動数とほぼ同一の固有振動数の動吸振器20を形成して、フランジ11上に取り付ける。床12からの振動が除振台及び架台8を介して支柱及び動吸振器20に入る。動吸振器20は、入ってきた振動の内、支柱と同一若しくはほぼ同一の振動数を持つ振動により、共振を起こしてこの様な周波数の振動を吸収してしまう。
請求項（抜粋）：
鏡筒、該鏡筒内を排気するための排気装置を備え、前記鏡筒を載置しているベースプレート上に複数の支柱を立て、該支柱により支持された台に前記排気装置を取り付けた荷電粒子ビーム装置において、前記支柱の固有振動数にほぼ等しい固有振動数を有する動吸振器を前記台に取り付けた荷電粒子ビーム装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
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