特許
J-GLOBAL ID：200903071862622111
光導波路基板とその製造方法、及び光導波路部品とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-268334
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071993
出願日： 2000年09月05日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：
【要約】【課題】 コア成形時に熱膨張に起因する転写精度の低下を生じることのない、微細パターンのコアを有する光導波路基板の構成及び製造方法を提供する。【解決手段】 平面ガラス基板からなる下部クラッド層11上に、紫外線硬化樹脂12を塗布する。コア形状の線状凸部を有する紫外線を透過する型の裏面より紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂12を硬化させ、溝部14を有する中間クラッド層13を形成する。次に屈折率の異なる透明樹脂を溝部14に充填し、コア15を形成する。そして、その上に平面ガラス基板からなる上部クラッド層17を固定し、光導波路基板を製作する。
請求項（抜粋）：
光ビームをコア内で拘束して前記コアの軸に沿って伝搬させる光導波路基板の製造方法であって、屈折率n1のガラス基板を所定形状に加工して、一方の平面を光学的接合面とする下部クラッド層を得る工程と、前記下部クラッド層の光学的接合面に、屈折率n2を有する紫外線硬化樹脂を塗布する工程と、前記コアと同一形状を有する線状凸部が形成された紫外線を透過する型を用いて前記紫外線硬化樹脂を押圧し、前記型の線状凸部を前記下部クラッド層の光学的接合面に当接させる工程と、前記型の裏面より紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化樹脂を硬化させた後、前記型を離型し、前記コアの空間となる溝部が形成された中間クラッド層を得る工程と、前記中間クラッド層の前記溝部に、屈折率n3(n3>n2,n1)を有する透明樹脂を充填して、硬化させることにより前記コアを得る工程と、前記コアが形成された後の前記中間クラッド層の上面に、屈折率n4(n4<n3)を有する平面ガラス基板を接合することにより上部クラッド層を形成する工程とを有することを特徴とする光導波路基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 M
, G02B 6/12 A
2H047KA04
, 2H047PA02
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047TA41
