特許

J-GLOBAL ID：200903071883545397

プラスチック光学基板への反射防止膜とその成膜方法

発明者： 井染 元夫 ,  高尾 敏弘 ,  徳永 慎弥
出願人/特許権者： 森六株式会社
代理人 (1件)： 伊沢 安夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286630
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098307
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【目的】 アクリル等の密着性を確保しにくいプラスチック基板に光学的な低反射防止膜を密着性良く成膜することを目的としたものである。【構成】 プラスチック基板を用いた光学部品への反射防止膜の成膜にあって、極薄い選択された光学基板を用いて成膜された第一層、ほぼ1/4λ0に近い光学膜厚で成膜された第二層、及び若しくはこれに加えトップコートとして極薄い第三層からなる。

請求項（抜粋）：

プラスチック基板を用いた光学部品への反射防止膜であって、少なくとも第一層の素材がTiO2,SiO2,ZrO2,Cr2O3から選ばれる一種もしくは二種以上の合成された透明膜で構成され、かつその実質膜厚が10Å〜500Åの範囲にあり、第二層がMgF2又はSiO2で構成され、中心波長λ0とするとともに光学膜厚が1/8λ0〜1/2λ0での構成を含んでいる成膜で構成されることが特徴のプラスチック光学基板への反射防止膜とその成膜方法。

IPC (7件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/10 ,  C23C 14/20

FI (8件)：

B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/08 E ,  C23C 14/08 J ,  C23C 14/10 ,  C23C 14/20 A ,  G02B 1/10 A

Fターム (40件)：

2K009AA02 ,  2K009AA05 ,  2K009AA06 ,  2K009BB11 ,  2K009BB14 ,  2K009BB24 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  4F100AA05C ,  4F100AA05D ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA20D ,  4F100AA21B ,  4F100AA22B ,  4F100AA27B ,  4F100AK01A ,  4F100AK02A ,  4F100AK25A ,  4F100AK45A ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100BA10D ,  4F100EH66 ,  4F100GB90 ,  4F100JN01B ,  4F100JN30 ,  4F100YY00B ,  4F100YY00D ,  4K029AA11 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01