特許
J-GLOBAL ID：200903071886522460
エネルギスペクトル測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221684
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066745
出願日： 1992年08月20日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 XPS等のエネルギスペクトル測定装置において、常に適切な測定条件が自動的に設定されるようにして、分析時の手間を省くとともに、分析精度および分析効率の向上を図る。【構成】 所定のエネルギ範囲を走査して得られるエネルギスペクトルの中から決定した特定元素に関するエネルギスペクトルについて、そのピーク強度、ピーク強度とバックグラウンドとの比、バックグラウンドの変動量等の各判定要素を算出する算出手段16と、この算出手段16の各判定要素に基づいてエネルギスペクトルの質を決定し、このエネルギスペクトルの質に適合したエネルギ走査の繰り返し回数、データ取り込み時間等の測定条件を決定する測定条件決定手段18とを備える。
請求項（抜粋）：
所定のエネルギ範囲を走査して得られたエネルギスペクトルの中から決定した特定元素に関するエネルギスペクトルについて、そのピーク強度、ピーク強度とバックグラウンドとの比、バックグラウンドの変動量等の各判定要素を算出する算出手段と、この算出手段の各判定要素に基づいてエネルギスペクトルの質を決定し、このエネルギスペクトルの質に適合したエネルギ走査の繰り返し回数、データ取り込み時間等の測定条件を決定する測定条件決定手段と、を備えることを特徴とするエネルギスペクトル測定装置。
IPC (2件)：
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