特許

J-GLOBAL ID：200903071886861184

電流検出回路

発明者： 大竹 茂
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 大日方 富雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-157545
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012885
出願日： 1993年06月28日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 検査対象の負荷素子を流れる電流値の測定を行うに電流検出回路の、測定に必要な時間を短縮し、その検査処理の高速化を図る。【構成】 微少電流測定装置は、リーク電流の測定が行われるダイオードD1〜Dnに対して、同時に検査用のバイアス電圧を印加し、このとき流れる電流を電圧値に変換すると共に、積分器24による波形整形を、全てのダイオードに対して同時に行う。ダイオードD1〜Dnに夫々接続された各測定回路201〜20nの出力端子に電流値に応じた電圧信号が蓄積され、選択回路30の何れかのリレーSをオンさせると、対応する測定回路から、即座に、検出信号が出力される。このように各測定回路で行われる積分器の動作を、同時に行わせることによりリーク電流の測定に要する時間が大幅に短縮される。

請求項（抜粋）：

検査対象の負荷素子が接続されたチャネルを有する負荷切換回路と、該負荷切換回路に検査用電圧を供給する電圧供給回路と、上記検査用電圧が上記負荷素子に印加されたときに該負荷素子を流れる電流量に応じた検出信号を出力する電流値測定回路と、上記検出信号を所望の信号レベルに変換してこれを出力する出力回路とを具えた電流検出回路において、上記負荷切換回路は、入力端子が共通接続された複数のチャネルを有し、上記複数のチャネルの各々の出力端子に、電流値測定回路が各々接続され、上記電流値測定回路の各々の出力端子に、当該測定回路と上記出力回路の接続状態を切り替える選択回路が接続されていることを特徴とする電流検出回路。

IPC (2件)：

G01R 31/26 ,  H01L 21/66