マイクロミラー装置およびその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150590
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338445
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】ミラー部101が形成されるミラー形成基板102のサイズと、ミラー形成基板102の下部に設けた駆動電極105との間の距離であるギャップgoとにより、安定して走査される走査角度とこの走査に要する駆動電圧などが決定されていたため、低駆動電圧で大きな走査角度を実現するマイクロミラー装置を設計することが困難であるという課題があった。【解決手段】ミラー部1が形成され、対向する2辺と直交する線上にねじれ梁3を有するミラー形成基板2と、支持基板6上に突出して設けられ、ねじれ梁3の端部を支持してミラー形成基板2を支持基板6上に固定するアンカー部4と、少なくともミラー形成基板2のねじれ梁3の片側外周を囲むように設けられ、ねじれ梁3の軸方向と平行に一端をミラー形成基板2に接続したリンク梁10を有する駆動フレーム7と、この駆動フレーム7に駆動力を与える駆動力発生手段12,14,14A、14Bとを備えた。

請求項（抜粋）：

ミラー部が形成され、対向する2辺と直交する線上にねじれ梁を有するミラー形成基板と、支持基板上に突出して設けられ、上記ねじれ梁の端部を支持して上記ミラー形成基板を上記支持基板上に固定するアンカー部と、少なくとも上記ミラー形成基板のねじれ梁の片側外周を囲むように設けられ、上記ねじれ梁の軸方向と平行に一端を上記ミラー形成基板に接続したリンク梁を有する駆動フレームと、この駆動フレームに駆動力を与える駆動力発生手段とを備えたマイクロミラー装置。

IPC (4件)：

G02B 26/10 104 , B81B 1/00 , B81B 3/00 , G02B 26/08

FI (4件)：

G02B 26/10 104 , B81B 1/00 , B81B 3/00 , G02B 26/08 E

Fターム (11件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H041AC06 , 2H041AC08 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB16 , 2H045AB72 , 2H045AB81

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