特許
J-GLOBAL ID：200903071898304159
電子銃
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031409
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223165
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 分割転写方式の電子線露光装置用に好適な低輝度・高エミッタンス特性を有する電子銃を提供する。【解決手段】 本発明の電子銃においては、カソード1の先端が、径1mm以上の平らで仕事関数のそろった面となっている。そして、このカソード1の先端が、ウエーネルト電極2よりもアノード3側に突出している。この電子銃は温度制限領域で動作する。
請求項（抜粋）：
カソードの先端が、径1mm以上の平らで仕事関数のそろった面を有し、該カソードの先端が、ウエーネルト電極と同位置か、又はウエーネルト電極よりもアノード側に突出しており、温度制限領域で動作することを特徴とする電子銃。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/06 Z
, H01J 37/065
