特許

J-GLOBAL ID：200903071900689462

加速度センサ

発明者： 田中 秀一
出願人/特許権者： 山武ハネウエル株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189548
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010966
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 一括形成できるとともに三軸方向一電気出力を取り出すようにした。【構成】 基板部1と、この基板部1を貫通して形成された空洞部5と、この空洞部5内に可動自在に支持された可動質量部2と、この基板部1の基板周辺部3に一端側が結合されかつ他端側が可動質量部2に結合され可動質量部2を支持するばね部4と、この可動質量部2上面に形成された可動電極6と、この基板部1の上方に空洞部5,可動質量部2を覆って形成された薄膜部9と、この薄膜部9の可動電極6と対向する面にギャップ8を介して形成された固定電極10とから構成する。

請求項（抜粋）：

基板部と、前記基板部の一部を貫通して形成された空洞部と、前記空洞部内に可動自在に支持された前記基板部と同一部材からなる可動質量部と、前記基板部に一端側が結合されかつ他端側が前記可動質量部に結合され前記可動質量部を支持する前記基板部と同一部材からなる少なくとも1つのばね部と、前記可動質量部の上面に形成された可動電極と、前記基板部の上方に前記空洞部,可動質量部を覆って形成された薄膜部と、前記薄膜部の前記可動電極と対向する面にギャップを介して形成された固定電極と、を備えたことを特徴とする加速度センサ。