特許
J-GLOBAL ID：200903071902087095
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000004679
公開番号（公開出願番号）：WO2002-006786
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月24日
要約：
【要約】本発明の圧力センサでは、圧力を受ける第1の面を有するダイヤフラム6と、スペーサ7を介してダイヤフラムの中央部と対向配置された感熱抵抗部を有する第1の熱式検出部3とダイヤフラムの端部に対向配置された感熱抵抗部を有する第2の熱式検知部8を備えた圧力センサであって、第1の熱式検知部と第2の熱式検知部がおのおの独立で調整可能な定電流源23,28に接続されている。そして、圧力の変化による上記ダイヤフラムの変位量を上記熱式検知部で熱平衡状態の変化量として検知する第1の熱式検知部の電圧と、圧力に対し変化しない第2の熱式検知部の電圧とを、差動増幅する差動増幅器が接続されているため、精度の高い圧力測定が可能な圧力センサを得ることができる。
請求項（抜粋）：
圧力を受ける第1の面を有するダイヤフラム構造と、該ダイヤフラム構造の第2の面の中央部に対向配置された発熱手段を有する第1の熱式検知部とを備え、圧力の変化による上記ダイヤフラムの変位量を上記第1の熱式検知部で熱的に検知する圧力センサであって、上記ダイヤフラムの第2の面の端部に対向して配置された発熱手段を有する第2の熱式検知部を有し、上記第1の熱式検知部と上記第2の熱式検知部とがおのおの独立な第1の定電流源と第2の定電流源とに接続され、上記第1の熱式検知部の出力と上記第2の熱式検知部の出力とが差動増幅器に接続されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件)：
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