固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-107029
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357786
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】従来、マイクロレンズ上に封止樹脂が充填された固体撮像装置では、集光効率が悪かった。【解決手段】光を受光するフォトダイオード14と、フォトダイオード14の上に配置され樹脂から形成された屈折率n3のマイクロレンズ4と、マイクロレンズ4の上に形成された屈折率n2の薄膜レンズ3と、薄膜レンズ3の上に形成された屈折率n1の封止樹脂2と、封止樹脂2の上に形成された封止樹脂2を封止するためのカバーガラス1とを備え、薄膜レンズ3の屈折率n2を、n1およびn3よりも小さい屈折率とする。ここで、n1とn3の値は実質上同一であるとし、薄膜レンズ3を、フッ化物および/または酸化物から形成する。

請求項（抜粋）：

光を受光する受光部と、前記受光部の上に形成された、所定の第1屈折率を有するマイクロレンズと、前記マイクロレンズの上に形成された薄膜レンズと、前記薄膜レンズの上に形成された、所定の第2屈折率を有する樹脂部とを備え、前記薄膜レンズの屈折率は、前記第1屈折率および前記第2屈折率よりも小さい屈折率であり、前記薄膜レンズの材料は無機材料である、ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G02B 3/00 , H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 D , G02B 3/00 A , H04N 5/335 V , H04N 5/335 U

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-230567
特開平4-259256
光電変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-160566 出願人：株式会社東芝

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