特許
J-GLOBAL ID：200903071903525614
変位センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078253
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247713
出願日： 1995年03月08日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【構成】 変位測定用投光素子12から出射された変位測定用光23を変位測定用投光レンズ13でコリメートした後、対物レンズ11で集光させて検出物体1の表面に照射する。検出物体1で反射した変位測定用光23を対物レンズ11に通過させてコリメートした後、変位測定用受光レンズ14で集光して変位測定用受光素子15に結像させる。傾き測定用投光素子19から出射された傾き測定用光24を対物レンズ11でコリメートして検出物体1の表面に照射する。検出物体1で反射した傾き測定用光24を受光レンズ20で集光し、傾き測定用受光素子21に集光させる。【効果】 傾き測定用光学系で求めた検出物体の傾き量βにより、変位測定用光学系で求めた変位量dを補正し、変位量を正確に求めることができる。
請求項（抜粋）：
対物レンズ、対物レンズの光軸から離心した位置に配置されていて、対物レンズを通して変位測定用光を検出領域に向けて出射する変位測定用光源部、対物レンズの光軸から離心した位置に配置されていて、検出領域で反射された変位測定用光を対物レンズを通して受光する変位測定用受光部、からなる変位測定用光学系と;検出領域にある物体の傾きを検出するための傾き測定用光学系と;を備えていることを特徴とする変位センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 B
, G01B 11/26 Z
