特許

J-GLOBAL ID：200903071907312143

変形・破壊時に材料から放出される極微量ガスの分析装置

発明者： 菅野 幹宏 ,  伊藤 吾朗
出願人/特許権者： 東京大学長
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-246833
公開番号（公開出願番号）：特開平6-103960
出願日： 1992年09月16日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明は変形・破壊時に材料から放出される極微量ガスの分析装置に係り、材料の変形・破壊とガス元素との関係を解明するための装置であり、本発明の装置は水素原子と転位との相互作用の解明等の材料物性の基礎的分野にも応用可能であり、また同位元素を用いることにより、材料の製造・熱処理・使用環境のいずれから混入したガスが悪影響を与えるのかの解明が可能であり、新素材その他の材料設計のみならず、構造物の安全使用等に有益な知見を与える装置を提供するにある。【構成】 10-7Pa以下の超高真空チャンバーに、引張、圧縮、疲労の各試験のできる材料試験機と、高性能質量分析計と、非蒸発ゲッタポンプとを接続し、超高真空チャンバーに接続した排気管にスパッタイオンポンプと、遮断弁を介してターボ分子ポンプとを接続し、前記超高真空チャンバーに試料交換用蓋を設けたことを特徴とする変形・破壊時に材料から放出される極微量ガスの分析装置。

請求項（抜粋）：

10-7Pa以下の超高真空チャンバーに、引張、圧縮、疲労の各試験のできる材料試験機と、高性能質量分析計と、非蒸発ゲッタポンプとを接続し、超高真空チャンバーに接続した排気管にスパッタイオンポンプと、遮断弁を介してターボ分子ポンプとを接続し、前記超高真空チャンバーに試料交換用蓋を設けたことを特徴とする変形・破壊時に材料から放出される極微量ガスの分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/42 ,  G01N 3/00 ,  G01N 27/62 ,  G01N 27/64