特許

J-GLOBAL ID：200903071916891580

ポジ型レジスト組成物

発明者： 橋本 和彦 ,  上谷 保則 ,  宮 芳子
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-254106
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214788
出願日： 2001年08月24日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】露光時の解像度および170nm以下の波長の光に対する透過率に優れたポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】[1]バインダー樹脂及び感放射線化合物を含有してなり、該バインダー樹脂が、ヒドロキシフルオロアルキル化スチレン誘導体由来の重合単位と、アクリル酸エステル誘導体由来の重合単位とを含み、放射線照射後の該感放射線化合物の作用によりアルカリ可溶性となるポジ型レジスト組成物。[2]バインダー樹脂が、さらにニトリル基を有する重合単位を含む[1]記載のポジ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

バインダー樹脂及び感放射線化合物を含有してなり、該バインダー樹脂が、下式(I)で表される重合単位と下式(II)で表される重合単位を含み、放射線照射後の該感放射線化合物の作用によりアルカリ可溶性となることを特徴とするポジ型レジスト組成物。(式中、R1、R2はそれぞれ独立に少なくとも1個のフッ素原子を有する炭素数1〜12のフルオロアルキル基を表し、R3は水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜3のアルキル基、又は少なくとも1個のフッ素原子を有する炭素数1〜3のフルオロアルキル基を表す)(式中、 R4は酸の作用で解裂する基を表し、 R5は水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜3のアルキル基、又は少なくとも1個のフッ素原子を有する炭素数1〜3のフルオロアルキル基を表す)

IPC (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F212/14 ,  C08F220/10 ,  C08F220/42 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F212/14 ,  C08F220/10 ,  C08F220/42 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (27件)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07S ,  4J100AL08Q ,  4J100AM02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03P ,  4J100BA40P ,  4J100BB00P ,  4J100BB07P ,  4J100BB17P ,  4J100BB18P ,  4J100BC09Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38