特許

J-GLOBAL ID：200903071919757680

固体環状ガス放電電極

発明者： ジョージ・エヌ・スタインバーグ
出願人/特許権者： ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265165
公開番号（公開出願番号）：特開平8-195386
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、非常に高速度のエッチングを行うことができて通常の電極の腐食効果を示さないウェハエッチングシステムで使用するガス放電装置を提供することを目的とする。【解決手段】 ハウジング12と、このハウジング12に取付けられている環状電極11と、環状電極11の外周面に対向して隣接して設けられた不活性外側煙突13と、環状電極11の内周面に対向して隣接して設けられた不活性内側煙突14とを備え、これら煙突13, 14の表面によって環状電極11により生じるガス放電が限定され、さらに、ハウジング12に取付けられて内側煙突14内に環状電極11と同心に配置された絶縁体15を具備し、この絶縁体は開口16を有し、その開口16を通ってエッチングガス流が放射方向で対称な流動パターンで導入されることができることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ハウジングと、ハウジングに取付けられている予め定められた外側直径と予め定められた内側直径を有する環状電極と、環状電極の外周面に対向して隣接して配置されている不活性外側煙突と、環状電極の内周面に対向して隣接して配置されている不活性内側煙突とを具備し、内側および外側煙突は環状電極から生じるガス放電をその表面で限定しており、さらに、ハウジングに取付けられ、環状電極に関して同心に内側煙突内に配置されている絶縁体を具備し、この絶縁体は開口を有し、その開口を通ってエッチングガス流が放射方向で対称な流動パターンを発生することを可能にしていることを特徴とするエッチング装置で使用されるガス放電装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00