特許

J-GLOBAL ID：200903071924195711

感光性樹脂組成物

発明者： 佐々木 守 ,  加藤 幸治 ,  布村 昌隆 ,  ▲こい▼渕 滋 ,  粕谷 圭 ,  橋本 通晰 ,  磯部 麻郎
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-208932
公開番号（公開出願番号）：特開平6-059445
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 解像度を低下させることなく、耐熱性を向上させるポジ型レジストとして好適な感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 m-クレゾールと、p-クレゾールおよび/または3,5-キシレノールとをアルデヒドと酸性触媒下で縮合して得られる樹脂から標準ポリスチレン換算重量平均分子量がn(nは1,000〜5,000の間の数値を表す)である低分子量成分を除去したアルカリ可溶性ノボラック樹脂、トリス(4-ヒドロキシフェニル)メタンおよび1,2-ナフトキノンジアジド化合物を含む感光性樹脂組成物において、該アルデヒドをグリオキサルとした感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

m-クレゾールとp-クレゾールおよび/または3,5-キシレノールとをアルデヒドと酸性触媒下で縮合して得られる樹脂から標準ポリスチレン換算重量平均分子量がn(nは1,000〜5,000の間の数値を表す)である低分子量成分を除去したアルカリ可溶性ノボラツク樹脂、トリス(4-ヒドロキシフェニル)メタンおよび1,2-ナフトキノンジアジド化合物を含む感光性樹脂組成物において、該アルデヒドをグリオキサルとした感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  C08L 61/08 LMR ,  H01L 21/027