特許

J-GLOBAL ID：200903071925721417

倍率自動切換機能付きワイヤボンダ

発明者： 石井 岩男
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131661
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308409
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 ボンディング対象エリアの構造に応じて撮影手段のレンズ倍率を自動的に最適倍率に切り換えることのできる倍率自動切換機能付きワイヤボンダを提供することを目的とする。【解決手段】 半導体チップ4のボンディング位置をCCDカメラ1によって撮影し、該CCDカメラで撮影した映像信号を用いて画像処理装置3によってワイヤボンディングのための所定の画像処理を行なうようにしたワイヤボンダにおいて、ズームレンズ2A有するCCDカメラ1と、該CCDカメラ1のズームレンズ2Aのレンズ倍率を可変制御するモータ制御装置5、制御モータ6、ベルト8、プーリ7とを備え、ボンダ本体側のテーブル送り制御装置などから与えられるボンディング位置情報に基づいてモータ制御装置5によってズームレンズ2Aのレンズ倍率をボンディング位置に応じた最適倍率に自動的に切り換えるようにした。

請求項（抜粋）：

半導体チップのボンディング位置を撮影手段によって撮影し、該撮影手段で撮影した映像信号を用いて画像処理装置によってワイヤボンディングのための所定の画像処理を行なうようにしたワイヤボンダにおいて、可変倍率式の撮影手段と、該可変倍率式撮影手段のレンズ倍率を可変制御する倍率切換手段とを備え、ボンディング位置情報に基づいて前記倍率切換手段によって前記可変倍率式撮影手段のレンズ倍率をボンディング位置に応じた最適倍率に自動的に切り換えるようにしたことを特徴とする倍率自動切換機能付きワイヤボンダ。

IPC (4件)：

H01L 21/60 301 ,  G02B 7/09 ,  G06T 1/00 ,  H04N 5/225

FI (5件)：

H01L 21/60 301 L ,  H04N 5/225 C ,  G02B 7/04 A ,  G06F 15/64 D ,  G06F 15/64 325 F