特許
J-GLOBAL ID：200903071931100491
レーザ走査光学系のビーム径測定装置および方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 道人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191023
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021968
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【課題】 実機における走査ビームと同じ状態のビームの径を測定することのできるビーム径測定装置および方法を提供することにある。【解決手段】 治具1に、ビーム径を測定されるレーザ走査光学系(ROS)2がクランプされる。パルス発生ボード5は、ROS2から出力されたSOS信号2bを基に、パルス変調信号5aとCCDトリガ信号5bとを生成する。パルス変調信号5aはROS制御回路4を介してROS2に送られる。一方、CCDトリガ信号5bはエリアCCDカメラ3に送られる。エリアCCDカメラ3はCCDセンサの残留電荷を浄化した後、ポリゴンミラー2aによって走査されたビームのスポットを露光する。該スポットの径は画像処理部9にて算出され、ホストコンピュータ6に通知される。
請求項（抜粋）：
レーザ走査を行うための光学系ユニットを検査するビーム径測定装置において、パルス変調されたレーザビームを出力するために、前記光学系ユニットを駆動する駆動手段と、該光学系ユニットから出力されたレーザビームの一走査が照射されるCCDカメラと、前記駆動手段のビーム点灯タイミングと前記CCDカメラの露光タイミングとの同期タイミングを制御する制御手段と、前記CCDカメラより得られた画像データからビーム径を算出し評価する演算手段と、該CCDカメラを印字領域内で移動させるカメラ移動ガイドとを備えたことを特徴とするレーザ走査光学系のビーム径測定装置。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, B41J 2/44
, H04N 1/113
G02B 26/10 A
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 A
