特許

J-GLOBAL ID：200903071933921050

渦電流式試料測定方法と、渦電流センサと、渦電流式試料測定システム

発明者： 早乙女 英夫 ,  結城 忠信 ,  田口 浩一 ,  牛込 賢治
出願人/特許権者： 国立大学法人 千葉大学 ,  ナプソン株式会社
代理人 (2件)： 小林 正治 ,  小林 正英
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-029495
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186433
出願日： 2008年02月08日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】 フェライトコアに巻かれた励磁コイルと交流電源の間に接続されるリード線のインダクタンス及び抵抗成分の影響を受けて、励磁コイルに供給される交流電圧を一定に保つことが出来ず測定誤差の要因となっている。【解決手段】 渦電流センサの磁心に交流磁界を発生させる励磁コイルとは別に電圧検出コイルを設け、渦電流発生時の電圧検出コイルの誘起電圧を検出コイルのインピーダンスに対して高入力インピーダンスである検出器で検出する。前記検出器で検出された検出電圧で励磁コイルに印加する高周波電圧を制御する。測定用渦電流センサと試料を測定しない非測定用渦電流センサを使用し、夫々の渦電流センサの磁心に励磁コイルとは別に設けた電圧検出コイルを夫々の誘起電圧が逆方向となるように直列接続し、非測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧と、試料測定した測定用渦電流センサの検出コイルの誘起電圧との電圧差を前記直列接続した電圧検出コイルの測定端子で検出するようにした。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

試料に交流磁界を印加して渦電流を発生させ、その渦電流による電力吸収に伴う電流変動を検出して試料の抵抗率、シート抵抗、膜厚といった各種測定を行う渦電流式試料測定方法において、渦電流センサの磁心に交流磁界を発生させる励磁コイルとは別に検出コイルを設け、渦電流発生時の検出コイルの誘起電圧を高入力インピーダンスの検出器で検出することを特徴とする渦電流式試料測定方法。

IPC (4件)：

G01N 27/90 ,  G01B 7/06 ,  G01R 27/02 ,  G01N 27/72

FI (4件)：

G01N27/90 ,  G01B7/06 M ,  G01R27/02 R ,  G01N27/72

Fターム (27件)：

2F063AA16 ,  2F063BB05 ,  2F063BD13 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DD02 ,  2F063DD03 ,  2F063DD05 ,  2F063GA08 ,  2F063GA15 ,  2F063LA23 ,  2G028AA01 ,  2G028BC02 ,  2G028CG02 ,  2G028DH14 ,  2G028FK01 ,  2G028FK07 ,  2G028GL03 ,  2G028HN15 ,  2G053AA11 ,  2G053AB21 ,  2G053BA16 ,  2G053BC02 ,  2G053BC14 ,  2G053CA03 ,  2G053CA18 ,  2G053DA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 渦電流センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-162892   出願人：シャープ株式会社
• 渦電流式検出センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-024241   出願人：サンクス株式会社

審査官引用 (4件)

• 電磁誘導型センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-160879   出願人：偕成エンジニア株式会社
• 磁性体の探傷装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-006820   出願人：株式会社日立ビルシステムサービス
• 磁気センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-291148   出願人：株式会社三協精機製作所
• 焼入深度測定方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-199640   出願人：センサ・システム株式会社