特許

J-GLOBAL ID：200903071937398514

実装方法および装置

発明者： 山内 朗
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-046086
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249425
出願日： 2002年02月22日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】 一つのチャンバ内で小型の機構を介して少なくとも被接合物同士の所定のアライメント、加圧接合を容易に行うことができ、かつ、高加圧力が要求される場合にも容易に対応可能な、実装方法および装置を提供する。【解決手段】 一つのチャンバ内で、被接合物同士の相対位置をアライメントした後、チャンバ内における両接合物間空間である第1の空間とその他の空間である第2の空間との気圧差により被接合物同士を加圧接合することを特徴とする実装方法および装置。

請求項（抜粋）：

対向する被接合物同士を接合する実装方法であって、一つのチャンバ内で、被接合物同士の相対位置をアライメントした後、チャンバ内における両接合物間空間である第1の空間とその他の空間である第2の空間との気圧差により被接合物同士を加圧接合することを特徴とする実装方法。