特許

J-GLOBAL ID：200903071937652585

露光装置の光学調整方法

発明者： 高橋 哲男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-340653
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172899
出願日： 1996年12月05日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 窒素雰囲気の光路を介して露光を行う露光装置において光学系の調整および検査を効率良く行う。【解決手段】 本発明は、窒素雰囲気の光路を介してマスク(R)のパターンを感光性基板(W)に転写する露光装置の光学調整方法である。そして、調整すべき光学部材を含む空間区画内の窒素を空気で置換する置換工程と、置換工程により空気雰囲気となった空間区画内の光学部材を調整する調整工程と、調整工程中または調整工程後に、空間区画内が空気雰囲気である状態において露光光の強度を実質的に低下させて検査露光を行う検査工程とを備えている。

請求項（抜粋）：

窒素雰囲気の光路を介してマスクのパターンを感光性基板に転写する露光装置の光学調整方法において、調整すべき光学部材を含む空間区画内の窒素を空気で置換する置換工程と、前記置換工程により空気雰囲気となった前記空間区画内の前記光学部材を調整する調整工程と、前記調整工程中または前記調整工程後に、前記空間区画内が空気雰囲気である状態において露光光の強度を実質的に低下させて検査露光を行う検査工程とを備えていることを特徴とする露光装置の光学調整方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 521