特許
J-GLOBAL ID：200903071938750610
ロウ材塗布方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-116427
公開番号（公開出願番号）：特開2004-322109
出願日： 2003年04月22日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】スパッタリングターゲットのような大面積の被加工物に低融点ロウ材低融点ロウ材(インジウム等)を均一に塗布できるロウ材塗布方法を得る事。【解決手段】平面状の塗布対象物の塗布面上に所定厚さの塗膜を均一に形成する塗布方法において、低融点ロウ材をシリンジ部で溶融させ、溶融したロウ材料に超音波振動を印加させる工程と、ノズル先端開口部を塗布面上に対し相対的に近接させ、上記ノズルを前記塗布面からの所定間隔を維持しつつ所定速度で相対移動し低融点ロウ材料を塗布する工程を備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平面状の塗布対象物の塗布面上に所定厚さの塗膜を均一に形成する塗布方法において、低融点ロウ材をシリンジ部で溶融させ、溶融したロウ材料に超音波振動を印加させる工程と、ノズル先端開口部を塗布面上に対し相対的に近接させ、上記ノズルを前記塗布面からの所定間隔を維持しつつ所定速度で相対移動し低融点ロウ材料を塗布する工程を備えた事を特徴とする低融点ロウ材料の定量塗布方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
前のページに戻る
