特許
J-GLOBAL ID:200903071943161771
ポジ型可視光感光性樹脂組成物及びその用途
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
若林 忠 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-191765
公開番号(公開出願番号):特開2000-019739
出願日: 1998年07月07日
公開日(公表日): 2000年01月21日
要約:
【要約】【課題】 可視光に対する感度、安全作業性、作業効率、製品の品質安定性に優れたポジ型可視光感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 500〜620nmの範囲から選ばれた最大波長を有する比視感度の大きい安全光の照射環境下で使用するポジ型可視光感光性樹脂組成物であり、該組成物がポジ型可視光感光性樹脂及び下記一般式(1)で表されるジピロメテンホウ素錯化合物の光増感剤とを含有したポジ型可視光感光樹脂組成物であって、その組成物から形成される未感光被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の±30nmの範囲において0.5以下であることを特徴とするポジ型可視光感光性樹脂組成物。【化1】
請求項(抜粋):
500〜620nmの範囲から選ばれた最大波長を有する比視感度の大きい安全光の照射環境下で使用するポジ型可視光感光性樹脂組成物であり、該組成物がポジ型可視光感光性樹脂及び下記一般式(1)で表されるジピロメテンホウ素錯化合物の光増感剤とを含有したポジ型可視光感光樹脂組成物であって、その組成物から形成される未感光被膜の吸光度が上記安全光の最大波長の±30nmの範囲において0.5以下であることを特徴とするポジ型可視光感光性樹脂組成物。【化1】〔式中、R1、R2、R3、R5、R6、R7はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、ヒドロキシ基、アミノ基、カルボキシル基、スルホン酸基、アルキル基、ハロゲノアルキル基、アルコキシアルキル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アミノカルボニル基、アルキルアミノカルボニル基、ジアルキルアミノカルボニル基、アルキルカルボニルアミノ基、アリールカルボニルアミノ基、アリールアミノカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルケニルオキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基、アルコキシカルボニルアルコキシカルボニル基、アルキルカルボニルアルコキシカルボニル基、モノ(ヒドロキシアルキル)アミノカルボニル基、ジ(ヒドロキシアルキル)アミノカルボニル基、モノ(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基、ジ(アルコキシアルキル)アミノカルボニル基またはアルケニル基を表し、R4は水素原子、シアノ基、アルキル基、アラルキル基、アリール基、ヘテロアリール基またはアルケニル基を表し、R8は、アルキル基、アリール基、またはアラルキル基を表し、R9は、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリールオキシ基またはアラルキルオキシ基を示す。〕
IPC (6件):
G03F 7/039 601
, C08F 2/50
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
, C07F 5/02
, C09K 3/00
FI (6件):
G03F 7/039 601
, C08F 2/50
, G03F 7/004 503 Z
, C07F 5/02 D
, C09K 3/00 T
, H01L 21/30 502 R
Fターム (48件):
2H025AA00
, 2H025AA11
, 2H025AB03
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025BJ00
, 2H025CA28
, 2H025CA39
, 2H025CB41
, 2H025CC03
, 2H025FA12
, 4H048AA03
, 4H048AB76
, 4H048AB92
, 4H048VA11
, 4H048VA12
, 4H048VA13
, 4H048VA20
, 4H048VA22
, 4H048VA30
, 4H048VA32
, 4H048VA40
, 4H048VA75
, 4H048VB20
, 4J011QA02
, 4J011QA03
, 4J011QA08
, 4J011QA09
, 4J011QA19
, 4J011QB29
, 4J011QC07
, 4J011RA11
, 4J011RA12
, 4J011SA78
, 4J011SA86
, 4J011TA07
, 4J011UA02
, 4J011UA06
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J011WA02
, 4J011WA05
, 4J011WA06
引用特許:
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