特許

J-GLOBAL ID：200903071947951289

大口径ルツボの反転方法およびその装置

発明者： 松原 順一 ,  高瀬 伸光 ,  山岸 浩利 ,  蔵本 誠 ,  町田 倫久 ,  白石 裕 ,  高野 清隆 ,  飯田 哲広
出願人/特許権者： 株式会社スーパーシリコン研究所
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201016
公開番号（公開出願番号）：特開平10-025187
出願日： 1996年07月12日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 16インチ結晶用等の従来よりも大型なルツボであっても汚染の恐れがなく比較的簡単に反転できるルツボの反転方法および反転装置を提供する。【解決手段】 半導体単結晶製造に用いられる第1のルツボの上に第二のルツボを重ね合わせた状態のまま固定して、転回する。

請求項（抜粋）：

半導体の単結晶製造に用いるルツボを反転させる方法であって、内面を下方に伏せた状態で配された第1のルツボの上に第2のルツボを内面を下方に伏せた状態で重ねて固定し、前記第1のルツボと前記第2のルツボとを重ねた状態のまま固定可能な固定手段と、該固定手段ごと転回可能な転回手段を備えた装置を用い、前記第1のルツボと前記第2のルツボとを重ねた状態のまま反転させることを特徴とする大口径ルツボの反転方法。

IPC (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B ,  H01L 21/208 P