特許
J-GLOBAL ID：200903071960416945
光ディスク原盤用露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-217290
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083442
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板に感光層を設けた光ディスク原盤にレーザースポットで露光するに際し、光ディスクの半径方向にずれたピット(偏向したピット)を形成するのに適した装置を提供する。【構成】 光偏向器を通した後のビームを分割し、一方を対物レンズに、もう一方をビーム位置検出器に導く構造とした装置。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に感光層を設けた光ディスク原盤に対物レンズで絞った微小レーザービームスポットをビーム移動方向に対してずれた方向に偏向させながら照射するための光学系を備えた光ディスク原盤用露光装置において、光偏向器を通過した後のビームをビーム分割手段で分けた一方を対物レンズに導き、もう一方をビーム位置検出器で検出することによりビームの偏向量を対物レンズ以前で測定することを特徴とする光ディスク原盤用露光装置。
IPC (4件)：
G11B 7/26 501
, G11B 7/00
, G11B 7/09
, G11B 7/135
