特許
J-GLOBAL ID：200903071961194881
化学蒸着からの銅膜堆積のための銅化合物の溶液およびその合成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千田 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-266649
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169966
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 化学蒸着からの銅膜堆積のための銅化合物の溶液およびその合成方法を提供する。【解決手段】 式【化1】〔式中、Rは水素、フッ素、パーフルオロアリール、または炭素数1〜4のアルキルまたはパーフルオロアルキル基;R1およびR2は、炭素数1〜7のアルキルまたはパーフルオロアルキル基からそれぞれ独立して選択され;およびLは、非共有電子対を銅中心金属に提供することができる有機化合物または有機金属化合物から選択されるルイス塩基である。〕の有機金属化合物;および1以上のルイス塩基、1以上のルイス酸またはこれらの混合物から選択される溶媒を含む蒸着先駆物質組成物が開示される。
請求項（抜粋）：
式【化1】〔式中、Rは水素、フッ素、パーフルオロアリール、または炭素数1〜4のアルキルまたはパーフルオロアルキル基;R1およびR2は、炭素数1〜7のアルキルまたはパーフルオロアルキル基からそれぞれ独立して選択され;およびLは、非共有電子対を銅中心金属に提供することができる有機化合物または有機金属化合物から選択されるルイス塩基である。〕の有機金属化合物;および1以上のルイス塩基、1以上のルイス酸またはこれらの混合物から選択される溶媒を含む蒸着先駆物質組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
