特許

J-GLOBAL ID：200903071963955367

混合装置

発明者： 角掛 泰洋 ,  川崎 一政
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-221178
公開番号（公開出願番号）：特開2002-035566
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
要約：

【要約】【課題】 本発明は成分の異なる薬液を一定の比率で混合することを課題とする。【解決手段】 混合装置10は、圧縮気体供給源24から供給される圧縮気体をHFタンク12に供給してHFタンク12の上部空間の圧力を高めることにより、HF液を脈動のない安定した状態でスタティックミキサ16に供給することができ、HF液と純水とが均一の濃度となるように混合する。圧縮気体供給源24には、ガス供給管路26の一端が接続されており、ガス供給管路26の他端はHFタンク12に接続される。そして、ガス供給管路26には、HFタンク12に供給される圧力を所定圧に調整する圧力調整弁28と、HFタンク12に供給されるガスの流量を計測するコリオリ式の質量流量計30とが配設されている。また、質量流量計30がHFタンク12に供給される圧縮気体の流量を計測するため、微少流量を高精度に計測できる。

請求項（抜粋）：

液体が貯溜された複数の貯溜タンクと、該貯溜タンクより供給された液体を供給タンクに補充する複数の補充ラインと、前記各液体を所定の比率で前記供給タンクにて混合させるために前記各補充ラインから所定量の液体を補充させるべく、前記計量手段からの信号に基づき前記各弁手段を制御する制御手段と、を有する混合装置において、前記貯溜タンクに圧縮気体を供給する加圧手段と、前記加圧手段により供給される圧縮気体の流量を計測する流量計と、を備えてなることを特徴とする混合装置。

IPC (3件)：

B01F 15/04 ,  B01F 3/08 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

B01F 15/04 D ,  B01F 3/08 Z ,  H01L 21/306 J

Fターム (15件)：

4G035AB36 ,  4G035AE02 ,  4G035AE13 ,  4G037BA01 ,  4G037BB06 ,  4G037BC02 ,  4G037BC03 ,  4G037BD01 ,  4G037BD02 ,  4G037EA01 ,  5F043EE24 ,  5F043EE28 ,  5F043EE29 ,  5F043EE31 ,  5F043GG10