特許
J-GLOBAL ID：200903071970103961
荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186966
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036998
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法に関し、ビームビーム収束手段のレンズ強度を最適に調整して、所定矩形サイズの荷電粒子ビームをビーム整形手段の開口面上に正確に結像すること、及び、その電流密度の分布特性の平坦化をして該荷電粒子ビームを可変縮小した場合であっても、高精度,高解像度の露光処理を行うことを目的とする。【構成】 第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム11Aを第2の矩形サイズ〔縦×横〕に可変整形した状態又は該第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム11Aを限りなく縮小した状態で第2のビーム整形手段13Bを通過させ、かつ、第1のビーム収束手段14Aの収束強度Lを変化させながら、各収束強度毎に、複数の矩形サイズに対して試料上に到達するビーム電流iの測定処理をし、荷電粒子ビーム11Aの矩形サイズの変化に対する諸評価値α〔K〕又はβ〔θ〕に基づいて最適な収束強度Lの抽出処理をすることを含み構成する。
請求項（抜粋）：
少なくとも、荷電粒子ビーム(11A)の矩形サイズを可変整形する第1,第2のビーム整形手段(13A,13B)と、前記荷電粒子ビーム(11A)を収束する第1,第2のビーム収束手段(14A,14B)と、前記荷電粒子ビーム(11A)に係るビーム電流(i)を測定する測定手段(17)とを具備した荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法において、前記第1のビーム整形手段(13A)を通過した第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム(11A)を第2のビーム整形手段(13B)に基づいて第2の矩形サイズ(〔縦×横〕)に可変整形した状態又は該第1の矩形サイズの荷電粒子ビーム(11A)を限りなく縮小した状態で通過させ、かつ、第1のビーム収束手段(14A)の収束強度(L)を変化させながら、各収束強度毎に、複数の矩形サイズに対して試料上に到達するビーム電流(i)の測定処理をし、前記荷電粒子ビーム(11A)の矩形サイズの変化に対する諸評価値(α〔K〕又はβ〔θ〕)に基づいて最適な収束強度(L)の抽出処理をすることを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, H01J 37/305
