特許
J-GLOBAL ID：200903071986639829
光記録媒体の成膜装置および成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-271847
公開番号（公開出願番号）：特開平9-091766
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】 基板の反記録面に傷が付かないようにするとともに、基板に所望の膜を均一に成膜できるようにする。【解決手段】 光記録媒体のディスク基板を円板状のホルダ上に保持し、ホルダとともに基板を回転させながら基板上に真空薄膜形成法によって成膜する装置において、前記ホルダの基板支持部を、基板の反成膜面側で、かつ、径方向にみてグルーブおよび/またはピットが形成されている基板の記録用領域外の基板内周側および外周側部位に対してのみ設け、該基板内周側および外周側の基板支持部間に位置するホルダの基板への対向面を平坦面に形成したことを特徴とする、光記録媒体の成膜装置および成膜方法。
請求項（抜粋）：
光記録媒体のディスク基板を円板状のホルダ上に保持し、ホルダとともに基板を回転させながら基板上に真空薄膜形成法によって成膜する装置において、前記ホルダの基板支持部を、基板の反成膜面側で、かつ、径方向にみてグルーブおよび/またはピットが形成されている基板の記録用領域外の基板内周側および外周側部位に対してのみ設け、該基板内周側および外周側の基板支持部間に位置するホルダの基板への対向面を平坦面に形成したことを特徴とする、光記録媒体の成膜装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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