特許
J-GLOBAL ID：200903071989483200
光導波路基板の光学反射鏡とその形成法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266475
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120630
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 ヤトイを用いずに光導波路基板に光学反射鏡を形成する。【構成】 光導波路基板1の表面の近傍に、その表面と平行に光導波路1aが形成されており、その光導波路の小区間を除去するように、基板表面に、光導波路の側方から見てV字状の溝8がブレード7を用いて形成される。そのV字状の溝8の光導波路1aと交叉する一方の斜面にほゞ直角に、その光導波路の端部を除去するように、光導波路1aの側方から見て概ねU字状の溝6がブレード5を用い、研削と研磨を同時に行うことにより形成される。なお研削中には砥粒を含んだ液が注入される。このようにして、U字状の溝6の光導波路1aと交叉する一方の側面を反射面として、光導波路より入射した光La を基板表面側へ反射させる光学反射鏡2が形成される。
請求項（抜粋）：
基板表面の近傍に、その表面と平行に光導波路が形成されている光導波路基板に対して、その光導波路の小区間を除去するように、基板表面に、前記光導波路の側方から見てV字状の溝を形成し、前記V字状の溝の前記光導波路と交叉する一方の斜面にほゞ直角に、その光導波路の端部を除去するように、前記光導波路の側方から見て概ねU字状の溝を形成し、前記U字状の溝の、前記光導波路と交叉する一方の側面を反射面として、前記光導波路より入射した光を前記基板表面側へ反射させる、光導波路基板の光学反射鏡の形成法。
IPC (2件)：
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