シリカフィラーの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259009
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092685
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】シランカップリング剤による処理効果の高い溶融シリカ粉末が容易に得られ、信頼性の高い樹脂封止型半導体装置などの構成に適するシリカフィラーの製造方法の提供。【解決手段】珪石粉末をプロパン-酸素炎中に放出し溶融球状化し、球状のシリカフィラーを製造する工程において、前記溶融球状化温度から室温に冷却する過程、好ましくは50〜 300°C、より好ましくは85〜 150°Cで、シランカップリング剤処理を施すことを特徴とするシリカフィラーの製造方法である。

請求項（抜粋）：

珪石粉末をプロパン-酸素炎中に放出し溶融球状化し、球状のシリカフィラーを製造する工程において、前記溶融球状化温度から室温に冷却する過程で、シランカップリング剤処理を施すことを特徴とするシリカフィラーの製造方法。

IPC (7件)：

C09C 1/28 , C03B 8/02 , B01J 2/00 , B01J 2/16 , C08K 3/36 , C08K 9/06 , C08L101/00

FI (7件)：

C09C 1/28 , C03B 8/02 , B01J 2/00 B , B01J 2/16 , C08K 3/36 , C08K 9/06 , C08L101/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-092810
特開平2-014807
特開昭62-012609

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