特許

J-GLOBAL ID：200903071998826136

中空体を被覆するための方法、中空体を被覆するための装置、及び閉鎖可能な少なくとも1つの開口を備えた容器

発明者： フリードリヒ アンデルレ ,  ユルゲン ヘンリヒ ,  ヴィルフリート ディッケン ,  ハインリヒ グリューンヴァルト ,  ミヒャエル リーア ,  クラウス ナウエンブルク ,  ルードルフ ベックマン
出願人/特許権者： ライボルト システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-146204
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330945
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】 開口4を備えた容器を改善して、容器の壁が公知の容器に比べてわずかな浸透性しか有さないようにする。【解決手段】 被覆すべき中空体2を排気可能な被覆室10内に装着し、被覆室を閉鎖して、次いで排気し、プロセスガス混合物をプラズマプロセス室内に導入し、プラズマの点弧及び運転のために規定されたガス圧をもっぱら、被覆すべき制限面6の領域内に被覆の実施のために生ぜしめ、プラズマプロセス室(被覆室)内への電磁放射線の照射によってプラズマを点弧して、プラズマ放電を所定の時間にわたって維持し、これによって、被覆すべき面6に、中空体の内部に入れるべきガス状及び/又は液状の物質の、容器の外部空間への流出を阻止するポリマー層を析出し、電磁放射線を遮断し、次いで被覆室に送気して、被覆された中空体を取り出す。

請求項（抜粋）：

中空体、有利には閉鎖可能な少なくとも1つの開口を備えた中空体の制限面を被覆するための方法であって、中空体の被覆すべき制限面へのプラズマの作用下でプラズマ被覆、有利にはプラズマ化学式の析出によって行う形式のものにおいて、a)被覆すべき中空体(2)を排気可能な被覆室(10)内に装着し、b)被覆室(10)を閉鎖して、次いで排気し、c)プラズマプロセスガス若しくはプロセスガス混合物をプラズマプロセス室(14)内に導入し、この場合、プラズマの点弧及び運転のために規定されたガス圧をもっぱら、被覆すべき制限面(6)の領域、有利には、容器外壁面(6)のもっぱら被覆のための容器外側空間(14)内に被覆の実施のために生ぜしめ、c)プラズマプロセス室(14)内への電磁放射線の照射によってプラズマを点弧して、プラズマ放電を所定の時間にわたって維持し、これによって、被覆すべき面(6)に、中空体(2)の内部(12)に入れるべきガス状及び/又は液状の物質の、外部空間(14)への流出を有利には阻止するポリマー層を析出し、e)電磁放射線を遮断し、次いで被覆室(10)に送気して、被覆された中空体(2)を取り出すことを特徴とする、中空体を被覆するための方法。