特許

J-GLOBAL ID：200903071999783112

撮像素子検査装置

発明者： 藤田 義之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364293
公開番号（公開出願番号）：特開2006-170830
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】変調光に対する撮像素子の応答を検査することのできる撮像素子検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】光源から射出された光は可変カラーフィルタ、色温度フィルタ、NDフィルタを通過して所定の色、強度の光に調整される。所定の色、強度に調整された光は、投射レンズにより撮像素子に照射され、撮像素子の性能が検査される。 光源は、撮像素子の1フィールドまたは1フレームのスキャンに同期した信号で制御され、1フィールドまたは1フレーム内で、所定時間光源が点灯する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

撮像素子に照射する光を射出する光源と、 前記撮像素子の1フィールドまたは1フレーム内で、所定時間前記光源を点灯させる光源駆動装置とを有すること を特徴とする撮像素子検査装置。

IPC (6件)：

G01M 11/00 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H04N 17/00 ,  H01L 27/148 ,  H01L 27/14

FI (6件)：

G01M11/00 T ,  G01R31/26 E ,  H01L21/66 X ,  H04N17/00 K ,  H01L27/14 B ,  H01L27/14 Z

Fターム (19件)：

2G003AA09 ,  2G003AA10 ,  2G003AH00 ,  2G003AH05 ,  2G086EE01 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA04 ,  4M106CA17 ,  4M106DH16 ,  4M106DH31 ,  4M106DH37 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118GC07 ,  4M118GC11 ,  5C061BB01 ,  5C061CC01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体デバイス検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-059012   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (1件)

• 撮像装置の線形性測定方法および画像読み取り装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-122311   出願人：セイコーエプソン株式会社