特許

J-GLOBAL ID：200903072003453177

プラズマ被膜表面仕上げの方法及び装置

発明者： フォーンセル, ペーター ,  ブスケ, クリスチャン ,  ハルトマン, ウーヴェ ,  バールマン, アルフレッド ,  エリンゴウスト, ガイド ,  ビシング, クラウス-ディー.
出願人/特許権者： プラズマトリート ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ,  フラウンホーファー-ゲゼルシャフト ツァー フェルデルング デア アンゲヴァンテン フォーシャング アインゲトラーゲナー フェアアイン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-535626
公開番号（公開出願番号）：特表2003-514114
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2003年04月15日
要約：

【要約】【解決手段】プラズマにより前駆体材料に反応を生じさせて、反応生成物を表面(34)に堆積させ、大気圧において反応と共に堆積を生じさせる被膜表面仕上げの方法であって、作動ガスが励起区域(12)を通過することにより、プラズマジェット(28)が発生し、前記前駆体材料が分離して前記作動ガスから前記プラズマジェットに供給される被膜表面仕上げの方法。

請求項（抜粋）：

プラズマにより前駆体材料に反応を生じさせて、反応生成物を表面(34)に堆積させ、大気圧において反応と共に堆積を生じさせる被膜表面仕上げの方法であって、 作動ガスが、励起区域(12)を通過することにより、プラズマジェット(28;28’;28’’)が発生し、 前記前駆体材料が、前記作動ガスから独立して、前記プラズマジェットに供給される被膜表面仕上げの方法。

IPC (6件)：

C23C 4/12 ,  B05C 9/12 ,  B05D 3/04 ,  H05H 1/30 ,  H05H 1/34 ,  H05H 1/42

FI (6件)：

C23C 4/12 ,  B05C 9/12 ,  B05D 3/04 C ,  H05H 1/30 ,  H05H 1/34 ,  H05H 1/42

Fターム (9件)：

4D075AA01 ,  4D075BB49Z ,  4D075BB57Z ,  4F042DA05 ,  4F042DD36 ,  4F042DD38 ,  4K031CB51 ,  4K031DA04 ,  4K031EA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-252567
  
• 特開平3-068469
  
• 特表平4-502937
  
• アルミニウム継手の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-034854   出願人：スルザーメテコジャパン株式会社