特許
J-GLOBAL ID：200903072006010268
ウエハプローバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274216
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144892
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】ウエハプローバのステージに水平角度の調整機構を持たせることで、プローブカードとステージが平行でないとき、ステージ側で調整してプローブカードの取り付け精度を考慮しなくて済むプロービングを提供することにより測定装置とウエハの物理的距離の広がりを防ぐ。【構成】ウエハプローバのウエハ保持部であるステージにおいて、ステージ動作を従来の水平方向、回転方向、垂直方向の動作に加え、ステージの平面角度を自在に変化、調整出来る機構を持たせる。【効果】測定装置とウエハとの距離が広がるのを防ぎ、高速ICの正確な測定が出来る。
請求項（抜粋）：
ウエハの測定に用いられるウエハプローバにおいて、ウエハ保持部であるステージの水平角度調整を可能とする事を特徴とするウエハプローバ。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G12B 5/00
