特許
J-GLOBAL ID：200903072015574433
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302859
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159418
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】カンチレバーの交換を再現性良く行なえ、その変位検出系の光学調整も容易に行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】センサー本体40には、レーザーダイオード12、コリメートレンズ16、対物レンズ18が取り付けられている。その下方にはカンチレバー20が配置されている。カンチレバー20はカンチレバー支持台26に取り付けられている。カンチレバー支持体26は二軸移動可能な平行ばねを介してセンサー本体40に固定されている。センサー本体40にはカンチレバー20をX方向とY方向に移動させるxねじとyねじが設けられている。集光レンズ34と二分割受光素子32が、センサー本体40に固定された受光素子二軸ステージ38に取り付けられている。試料28は粗動アプローチ機構64に取り付けた圧電体62の上に載置される。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの自由端に支持された探針を用いて試料を観察する走査型プローブ顕微鏡において、探針を有する側と反対側のカンチレバーの自由端部に設けた反射面と、レーザービームを射出する光源を含み、レーザービームをカンチレバーの反射面に所定の角度で入射させるビーム照射手段と、反射面で反射された反射レーザービームを受ける受光素子を含み、反射レーザービームの角度変化を検出しこれに基づいて探針の変位を検出する検出手段とを有する光てこセンサーを備え、光源が固定されていて、受光素子とカンチレバーが光学調整のために移動可能に支持されている走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
