特許
J-GLOBAL ID：200903072018844822
固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-329646
公開番号（公開出願番号）：特開平5-145813
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 レンズ間ギャップを消失させ集光率を高くした固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法を提供する。【構成】 固体撮像素子1上に透明樹脂材料を回転塗布して平坦層2を形成し、平坦層2上にレンズ層として熱軟化型の透明樹脂材料層を回転塗布により形成したのち、フォトリソグラフィーによりパターニングを行って受光部上に透明樹脂層パターンを形成する。次に熱処理により樹脂層パターンの周辺部にだれを生じさせ下地マイクロレンズ3を形成する。次に下地マイクロレンズ3の熱軟化点以下の温度で透明膜4を等方的にレンズ間ギャップGが消失するまで堆積形成する。
請求項（抜粋）：
固体撮像素子上にマイクロレンズを直接形成する固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法において、前記固体撮像素子の受光側全面に熱軟化型の透明樹脂層を形成する工程と、該透明樹脂層を前記固体撮像素子の各受光部に位置するようにパターニングする工程と、該透明樹脂層パターンを加熱溶融し各透明樹脂層パターンを凸レンズに形成する工程と、該凸レンズ上全面に前記透明樹脂層の溶融温度より低温で透明膜を該凸レンズ間のギャップがなくなるように堆積形成する工程とを備えていることを特徴とする固体撮像素子用マイクロレンズの製造方法。
IPC (3件)：
H04N 5/225
, G02B 3/00
, H01L 27/14
