特許
J-GLOBAL ID：200903072022457426
高周波装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136830
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335869
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 正確にアーク放電の発生を検知し、アーク放電を停止させることができる高周波装置を実現する。【構成】 計算器12は、負荷7に流れ込む電流Iを求め、この値を微分回路13に供給する。ここで、負荷7においてグロー放電からアーク放電に移行すると、瞬間的に負荷に流れる電流が増加するが、微分回路13はこの電流変化に基づいてパルス状の信号を発生する。タイマー14は微分回路13からのパルス状の信号をトリガーとして一定期間(数秒間)、ハイレベル信号を発生する。スイッチ16では、ハイレベル信号が供給されている期間、発振器1からの信号を導通状態としてアースに流すため、負荷7への高周波電力の供給は一時的に停止され、その結果、アーク放電は停止する。
請求項（抜粋）：
高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、負荷に流れる電流を求める計算手段と、負荷電流の変化により所定時間高周波電源から負荷への高周波の供給を制御する手段とより成る高周波装置。
IPC (3件)：
H03H 7/40
, H01L 21/302
, C23C 14/34
